Wafer Bow Warp Þykktarmæling fyrir mælifræðigreiningar

Feb 28, 2020

Skildu eftir skilaboð

Heimild: mtiinstruments


ASTM F657:

Fjarlægðin gegnum skífuna milli samsvarandi punkta framan og aftan. Þykkt er gefin upp í míkron eða mils (þúsundasta tommu).

Heildarþykktarafbrigði (TTV)

ASTM F657:

Munurinn á hámarks- og lágmarksgildi þykktar sem komið er upp við skannamynstur eða röð punktamælinga. TTV er gefið upp í míkron eða mils (þúsundasta tommu).

mæling á þurrkur

Mynd hér að ofan sýnir skífu sem er staðsett á milli tveggja mælingarannsókna án snertingar. Með því að fylgjast með breytingum á milli efri rannsakaþáttar og efra yfirborðs oblátsins (A) og neðri rannsakanda og yfirborðs botnborðsins (B) er hægt að reikna þykkt. Fyrst verður að kvarða kerfið með skífu með þekktri þykkt (T w ). Svæðið af þekktri þykkt er sett á milli rannsakanna og efri rannsaka til skafarbils (A) og lægri gnægð rannsaka til sköfu (B) er fengin. Heildar bil (Gtotal) milli efri og neðri rannsaka er síðan reiknað út á eftirfarandi hátt:

G samtals = A + B + T w

Með því að kvarða kerfið er nú hægt að mæla plötum með óþekktri þykkt. Þegar skífan er sett á milli rannsakanna er nýtt gildi A og B aflað. Þykkt er reiknuð út á eftirfarandi hátt:

T w = G samtals - (A + B)

Við sjálfvirka skönnun á skífunni er röð punktamælinga tekin og geymd. Eftir að skönnuninni er lokið er TTV reiknað út á eftirfarandi hátt:

TTV = T max - T mín

EKKI SAMBAND MEÐ MÁL

ASTM F534 3.1.2:

Frávik miðpunkts miðgildis yfirborðs frjálss, óþrengds brauða frá miðju yfirborðsviðmiðunarplaninu sem komið var upp með þremur punktum sem eru jafnt dreifðir á hring með þvermál sem er tiltekið magn minna en nafnþvermál skífunnar.

Miðgildi yfirborðs:

Staðurinn af punktum í skífunni jafnstór milli framhliða og aftan flata. Þegar mæla og reikna boga er mikilvægt að hafa í huga að miðgildi yfirborðs skífunnar verður að vera þekkt. Með því að mæla frávik miðgildis yfirborðsins eru staðbundnar þykktafbrigði á miðpunkti skífunnar fjarlægðar úr útreikningnum.

miðju yfirborð boga

Hér að ofan sýnir samband miðjuflata oblátsins milli sanna andlitanna þar sem:

  • D = Fjarlægð milli efri og neðri rannsaka

  • A = Fjarlægð frá efri rannsaka til efstu flatar flatarinnar

  • B = Fjarlægð frá neðri rannsaka yfirborð botnsins

  • Z = Fjarlægð milli miðju yfirborðs breiddar og punktar á miðri leið milli efri og neðri rannsaka (D / 2)

Til að ákvarða gildi Z á hvaða stað sem er á skífunni eru tvær jöfnur:

Z = D / 2 - A - T / 2 og Z = -D / 2 + B + T / 2

Með því að leysa báðar jöfnurnar fyrir Z er hægt að ákvarða gildið einfaldlega með því að:

Z = (B - A) / 2

Þar sem boga er aðeins mæld á miðju skífunnar er reiknað út þriggja (3) punkta viðmiðunarplan um brún skífunnar. Verðmæti boga er síðan reiknað með því að mæla staðsetningu miðgildi yfirborðs í miðju skífunnar og ákvarða fjarlægð hennar frá viðmiðunarplaninu. Athugaðu að boga getur verið jákvæð eða neikvæð tala. Jákvætt táknar að miðpunktur miðgildisflatarins er fyrir ofan þriggja punkta viðmiðunarplanið. Neikvætt táknar miðpunkt miðgildisflatarins er undir þriggja punkta viðmiðunarplaninu.

obláta boga

VARP MÆLINGAR FYRIR SOLAR iðnaðinn

ASTM F1390:

Mismunurinn á milli hámarks og lágmarks vegalengda miðgildis yfirborðs frjálss, óþrengds obláts frá viðmiðunarstað. Eins og boga, er undið mæling á aðgreiningunni á miðju yfirborði skífunnar og viðmiðunarplaninu. Warp notar hins vegar allt miðgildi yfirborðs skífunnar í staðinn fyrir aðeins stöðu á miðpunktinum. Með því að horfa á allt skífuna veitir undið gagnlegri mælingu á raunverulegu oblátaforminu. Staðsetning miðgildi yfirborðs er reiknað nákvæmlega eins og fyrir boga og sýnt hér að ofan. Til að ákvarða undið eru tveir kostir við smíði viðmiðunarplansins. Ein er sama þriggja punkta planið um brún skífunnar. Hitt er með því að framkvæma minnstu ferninga við útreikning á miðgildis yfirborðsgögnum sem aflað var við mælinguna. Varp er síðan reiknuð út með því að finna hámarks frávik frá viðmiðunarplaninu (RPD max ) og lágmarksgreining frá viðmiðunarplaninu (RPD mín ). RPD max er skilgreint sem stærsta vegalengd fyrir ofan viðmiðunarplanið og er jákvæð tala. RPD mín er stærsta vegalengd undir viðmiðunarplaninu og er neikvæð tala.

wafer undið

Mynd hér að ofan er mynd af útreikningi undið. Í þessu dæmi er RPDmax 1,5 og er sýnd sem hámarksfjarlægð miðjuflatar yfir viðmiðunarplaninu. RPDmin er - 1,5 og er sýnd sem hámarks fjarlægð miðgildisflatarins undir viðmiðunarplaninu. Athugið undið er alltaf jákvætt gildi.

Varp = 1,5 - (-1,5) = 3

Það sýnir einnig gagnsemi þess að taka bæði boga og undið. Miðgildi yfirborðs skafans sem sýnt er skar snertir viðmiðunarplanið í skífumiðstöðinni, því er bogamælingin núll. Reiknaða undið gildi er gagnlegt í þessu tilfelli þar sem það segir notandanum að skífan hafi lögformsóreglu.




Hringdu í okkur
Hvernig á að leysa gæðavandamálin eftir sölu?
Taktu myndir af vandamálunum og sendu okkur.Eftir að hafa staðfest vandamálin, við
mun gera ánægða lausn fyrir þig innan nokkurra daga.
hafðu samband við okkur