N - gerð G1 monocrystalline kísilþurrkur er með fullan ferning 158,75 × 158,75 mm hönnun, hámarks ljós útsetningu og skilvirkni mát. Framleitt með CZ aðferðinni með fosfórdóp, býður það upp<100>Kristalstefna. Með n - leiðni, viðnámssvið 0,5–7 Ω · cm, og líftími burðarefnis upp í meira en eða jafnt og 1000 µs, er það vel - hentar fyrir hátt - skilvirkni Cell Technologies eins og TopCon og Hjt. Fullt ferningur lögun þess og þétt rúmfræðilegt vikmörk tryggja bestu samþættingu og afköst á einingunni.
1. efniseiginleikar
|
Eign |
Forskrift |
Skoðunaraðferð |
|
Vaxtaraðferð |
CZ |
|
|
Kristallleiki |
Einfrumkristallað |
Ívilnandi etch tækni(ASTM F47-88) |
|
Leiðni gerð |
N - gerð |
Napson EC-80TPN |
|
Dópefni |
Fosfór |
- |
|
Súrefnisstyrkur [OI] |
Minna en eða jafnt og8e +17 á/cm3 |
FTIR (ASTM F121-83) |
|
Kolefnisstyrkur [CS] |
Minna en eða jafnt og5e +16 á/cm3 |
FTIR (ASTM F123-91) |
|
Etch pit þéttleiki (dislocation þéttleiki) |
Minna en eða jafnt og500 cm-2 |
Ívilnandi etch tækni(ASTM F47-88) |
|
Yfirborðsstefna |
<100>± 3 gráðu |
X - geisladreifingaraðferð (ASTM F26-1987) |
|
Stefnumótun gervi fernings hliðar |
<010>,<001>± 3 gráðu |
X - geisladreifingaraðferð (ASTM F26-1987) |
2. Rafmagns eiginleikar
|
Eign |
Forskrift |
Skoðunaraðferð |
|
Viðnám |
1.0-7.0 Ω.cm
|
Skoðunarkerfi skífu |
|
MCLT (Lifetime Minority Carrier) |
Meiri en eða jafnt og 1000 µs (viðnám ＞ 1,0ohm.cm)
Meiri en eða jafnt og 500 µs (viðnám ＜ 1,0ohm.cm)
|
Sinton BCT-400 QSSPC/tímabundið
(með innspýtingarstigi: 1e15 cm -3)
|
3.Geometry
|
Eign |
Forskrift |
Skoðunaraðferð |
|
Rúmfræði |
gervi torg |
|
|
Bevel Edge lögun
|
Umferð | |
|
Hliðarlengd |
182 ± 0,25 mm
|
Skoðunarkerfi skífu |
|
Þvermál skífunnar |
φ247 ± 0,25 mm |
Skoðunarkerfi skífu |
|
Horn milli aðliggjandi hliðar |
90 gráðu ± 0,2 gráðu |
Skoðunarkerfi skífu |
|
Þykkt |
180﹢ 20/﹣10 µm
175﹢ 20/﹣10 µm
170﹢ 20/﹣10 µm
160﹢ 20/﹣10 µm
150﹢ 20/﹣10 µm
|
Skoðunarkerfi skífu |
|
TTV (heildarafbrigði þykktar) |
Minna en eða jafnt og 27 µm |
Skoðunarkerfi skífu |
4.Yfirborðseiginleikar
|
Eign |
Forskrift |
Skoðunaraðferð |
|
Skurðaraðferð |
DW |
-- |
|
Yfirborðsgæði |
Eins og skorið og hreinsað er engin sýnileg mengun, (olía eða fitu, fingraprent, sápublettir, slurry blettir, epoxý/límblettir eru ekki leyfðir) |
Skoðunarkerfi skífu |
|
Saw Marks / Steps |
Minna en eða jafnt og 15 µm |
Skoðunarkerfi skífu |
|
Bow |
Minna en eða jafnt og 40 µm |
Skoðunarkerfi skífu |
|
Warp |
Minna en eða jafnt og 40 µm |
Skoðunarkerfi skífu |
|
Flís |
dýpt minna en eða jafnt og 0,3 mm og lengd minni en eða jafnt og 0,5 mm hámark 2/stk; Enginn V - flís |
Nakin augu eða skífuskoðunarkerfi |
|
Ör sprungur / göt |
Ekki leyfilegt |
Skoðunarkerfi skífu |
maq per Qat: n - gerð G1 einokkristallað kísilþurrkur forskrift, Kína, birgjar, framleiðendur, verksmiðja, gerð í Kína
